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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6477129(A) 申请公布日期 1989.03.23
申请号 JP19870232469 申请日期 1987.09.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 GOTO HIROSHI;IMAOKA KAZUNORI
分类号 H01L21/3213;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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