发明名称 PRODUCTION OF SILICON CARBIDE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS6476968(A) 申请公布日期 1989.03.23
申请号 JP19870231709 申请日期 1987.09.16
申请人 SHOWA DENKO KK 发明人 HIRAMATSU ITSUKI;SAKAIDA TOSHIAKI
分类号 C04B35/565;C04B35/56 主分类号 C04B35/565
代理机构 代理人
主权项
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