发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6477949(A) 申请公布日期 1989.03.23
申请号 JP19870235528 申请日期 1987.09.18
申请人 FUJITSU LTD 发明人 HASEGAWA HITOSHI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址