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发明名称
POSITIV ARBEITENDES STRAHLUNGSEMPFINDLICHES GEMISCH UND DARAUS HERGESTELLTES STRAHLUNGSEMPFINDLICHES AUFZEICHNUNGSMATERIAL FUER HOCHENERGETISCHE STRAHLUNG
摘要
申请公布号
DE3821585(A1)
申请公布日期
1989.03.23
申请号
DE19883821585
申请日期
1988.06.25
申请人
HOECHST AG, 6230 FRANKFURT, DE
发明人
DOESSEL, KARL-FRIEDRICH, DR., 6200 WIESBADEN, DE;DAMMEL, RALPH, DR.;LINGNAU, JUERGEN, DR., 6500 MAINZ, DE
分类号
G03C1/72;C07C39/367;C07C43/225;C07C43/313;C07C43/315;G03F7/004;G03F7/26;H01L21/027
主分类号
G03C1/72
代理机构
代理人
主权项
地址
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