发明名称 GRAPHITE CRUCIBLE FOR PULLING UP SILICON SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS6476993(A) 申请公布日期 1989.03.23
申请号 JP19880218055 申请日期 1988.08.31
申请人 NIPPON CARBON CO LTD 发明人 NOTAKE TAKESHI;NAKAMURA ITSUNORI
分类号 H01L21/208;C30B15/10;C30B29/06 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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