发明名称 Method of producing conductor networks.
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Leiternetzwerken mit großer Haftfestigkiet, hoher Schicktdicke und Kantenschärfe der Leiterzüge, insbesondere auch zur gleichzeitigen Durchmetallisierung lasergebohrter Keramiksubstrate und beliebiger anderer organischer und anorganischer Dielektrika als Trägermaterialien für elektrische Schaltungen, unter Verwendung metallisierter oder nicht metallisierter Substrate, welche in bereits bekannter Weise vorbehandelt, aktiviert, reduziert und chemisch metallisiert werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Platten unmittelbar nach dem Laminieren und Belichten des Fotoresistes, aber vor der Entwicklung des Leiterbildes auf Temperaturen von 40 bis 120° C, vorzugsweise 70 bis 80° C, erwärmt werden.
申请公布号 EP0307596(A2) 申请公布日期 1989.03.22
申请号 EP19880112294 申请日期 1988.07.29
申请人 SCHERING AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND BERGKAMEN 发明人 TENBRINK, DETLEF
分类号 C23F1/00;G03F7/38;H01L21/48;H05K1/03;H05K3/00;H05K3/42 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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