发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6476737(A) 申请公布日期 1989.03.22
申请号 JP19870232318 申请日期 1987.09.18
申请人 NEC CORP 发明人 MURAO YUKINOBU
分类号 H01L29/78;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L23/52 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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