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发明名称 FORMATION OF MULTILAYER INTERCONNECTION
摘要
申请公布号 JPS6476740(A) 申请公布日期 1989.03.22
申请号 JP19870233372 申请日期 1987.09.17
申请人 SHARP CORP 发明人 HIKITA TOMOYUKI
分类号 H01L21/31;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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