EINRICHTUNG ZUR IONEN- UND/ODER PLASMAGESTUETZTEN HERSTELLUNG VON HARTSTOFFSCHICHTEN,申请号DD19870307309-传众专利搜索

发明名称	EINRICHTUNG ZUR IONEN- UND/ODER PLASMAGESTUETZTEN HERSTELLUNG VON HARTSTOFFSCHICHTEN
摘要
申请公布号	DD266119(A1)	申请公布日期	1989.03.22
申请号	DD19870307309	申请日期	1987.09.28
申请人	FORSCHUNGSZENTRUM DER WERKZEUGINDUSTRIE SCHMALKALDEN,DD	发明人	SCHUERER,CHRISTIAN,DD;FABIAN,DIETMAR,DD;RICHTER,GERD,DD;FISCHER,DIETMAR,DD;SCHULZE,PETRA,DD
分类号	C23C14/22;(IPC1-7):C23C14/22	主分类号	C23C14/22
代理机构		代理人
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