| 发明名称 |
TUNGSTEN SILICIDE FILM AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6476759(A) |
申请公布日期 |
1989.03.22 |
| 申请号 |
JP19870233426 |
申请日期 |
1987.09.17 |
| 申请人 |
SEIKO INSTR & ELECTRON LTD |
发明人 |
HOSAKA TAKASHI |
| 分类号 |
C01B33/06;C23C16/30;C23C16/42;H01L21/28;H01L21/285;H01L29/43;H01L29/78 |
主分类号 |
C01B33/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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