| 发明名称 |
HARD CARBON FILM CONTAINING NITROGEN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6475678(A) |
申请公布日期 |
1989.03.22 |
| 申请号 |
JP19870231188 |
申请日期 |
1987.09.17 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
TOBIOKA MASAAKI;IKEGAYA AKIHIKO |
| 分类号 |
C01B21/082;C23C16/26;C23C16/27;C30B29/04 |
主分类号 |
C01B21/082 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
