发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6476732(A) 申请公布日期 1989.03.22
申请号 JP19870234654 申请日期 1987.09.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAKUTA TOSHIYUKI;MIYAZAWA KAZUYUKI;OGUCHI SATOSHI
分类号 H01L21/60;H01L23/50 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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