| 发明名称 |
SCANNING WEDGE METHOD FOR DETERMINING CHARACTERISTICS OF A PHOTORESIST |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0202396(A3) |
申请公布日期 |
1989.03.22 |
| 申请号 |
EP19860101866 |
申请日期 |
1986.02.14 |
| 申请人 |
SHIPLEY COMPANY INC. |
发明人 |
HERTLEIN, WALTER G. C/O SHIPLEY AG |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/956;G03C5/02;G03F7/20;(IPC1-7):G03B27/72 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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