制作超导图案的方法

摘要

描述了一种约瑟夫森器件的制造方法。在一非导电表面上淀积一层超陶瓷膜，且该局部锝超导的陶瓷膜，以形成分隔两个超导区的势垒膜。这种锝超导是采用离子注入技术将一种锝超导元素加入陶瓷膜而进行的。

主权项

1、一种制作超导图案的方法包括。 形成一种与所需成分一致的陶瓷膜，以具有在一不导电表面上的超导特性；以及 形成一种超导结构，通过给予其以热处理，使它的C平面平行于所述陶瓷膜的表面； 其特征在于： 将一种碍超导元素加到所述陶瓷膜的第一部分，用以除了使第二部分成为根据规定图案的超导区之外，将所述成分变成与超导结构不相一致的成分。