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发明名称
摘要
申请公布号
CA1251579(C)
申请公布日期
1989.03.21
申请号
CA19840470775
申请日期
1984.12.21
申请人
发明人
分类号
H01L21/8238;H01L27/06;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/04;H01L29/786
主分类号
H01L21/8238
代理机构
代理人
主权项
地址
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