发明名称 SEQUENCE CONTROLLER OUTPUT SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS6474603(A) 申请公布日期 1989.03.20
申请号 JP19870230971 申请日期 1987.09.17
申请人 TOSHIBA CORP;NIPPON ATOM IND GROUP CO LTD 发明人 MITA AKIRA
分类号 G05B19/02;G05B19/04;G05B19/048;G05B19/05 主分类号 G05B19/02
代理机构 代理人
主权项
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