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发明名称 MOLECULAR BEAM CRYSTAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPS6473715(A) 申请公布日期 1989.03.20
申请号 JP19870231807 申请日期 1987.09.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SAITO JUNJI
分类号 H01L21/203;C30B23/08 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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