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发明名称 FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6475074(A) 申请公布日期 1989.03.20
申请号 JP19870231310 申请日期 1987.09.16
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 UEDA TETSUYA;YANO KOSAKU
分类号 B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/31 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
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