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发明名称 SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS6474760(A) 申请公布日期 1989.03.20
申请号 JP19870232967 申请日期 1987.09.17
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD 发明人 TAKEUCHI KOKI
分类号 H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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