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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS6474728(A) 申请公布日期 1989.03.20
申请号 JP19870233079 申请日期 1987.09.17
申请人 DAINIPPON PRINTING CO LTD 发明人 MIYASHITA HIROYUKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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