发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6474729(A) 申请公布日期 1989.03.20
申请号 JP19870231149 申请日期 1987.09.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 MITSUI SHINJI
分类号 H01L21/312;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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