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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPS6473679(A) 申请公布日期 1989.03.17
申请号 JP19870230795 申请日期 1987.09.14
申请人 AISIN SEIKI CO LTD 发明人 KAIMASU TAKETOSHI;ISHII MASAMI;YABUNO RYOHEI;OKA TETSUO
分类号 H01L29/84 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
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