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发明名称 SINGLE CRYSTAL GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6472983(A) 申请公布日期 1989.03.17
申请号 JP19870229116 申请日期 1987.09.12
申请人 SONY CORP 发明人 HAYASHI HIROO;SUZUKI TOSHIHIKO
分类号 H01L21/18;C30B11/00 主分类号 H01L21/18
代理机构 代理人
主权项
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