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发明名称 CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6473079(A) 申请公布日期 1989.03.17
申请号 JP19870227803 申请日期 1987.09.11
申请人 SONY CORP 发明人 SAKAI CHIAKI
分类号 C23C16/48;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
主权项
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