FILM FORMING DEVICE BY ION BEAM SPUTTERING,申请号JP19870228409-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	FILM FORMING DEVICE BY ION BEAM SPUTTERING
摘要
申请公布号	JPS6473075(A)	申请公布日期	1989.03.17
申请号	JP19870228409	申请日期	1987.09.14
申请人	HITACHI LTD	发明人	ARIMATSU KEIJI
分类号	C23C14/46	主分类号	C23C14/46
代理机构		代理人
主权项
地址

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