发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS6473629(A) 申请公布日期 1989.03.17
申请号 JP19870231606 申请日期 1987.09.14
申请人 NEC CORP 发明人 IWATA TADASHI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址