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发明名称
HEAT TREATMENT OF GALLIUM ARSENIDE SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号
JPS6473000(A)
申请公布日期
1989.03.17
申请号
JP19870231694
申请日期
1987.09.16
申请人
HITACHI METALS LTD
发明人
SATO MASAZUMI
分类号
C30B29/42;C30B33/00;C30B33/02;H01L21/324
主分类号
C30B29/42
代理机构
代理人
主权项
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