| 发明名称 |
MANUFACTURE OF LARGE SCALE INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6473639(A) |
申请公布日期 |
1989.03.17 |
| 申请号 |
JP19870230135 |
申请日期 |
1987.09.14 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
ISHIBASHI HIROMICHI;TAKAHARA HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/82;B01F1/00;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/82 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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