发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6472528(A) 申请公布日期 1989.03.17
申请号 JP19870228905 申请日期 1987.09.11
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IMAMURA KENICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/205;H01L29/778;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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