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发明名称 PLASMA PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPS6472527(A) 申请公布日期 1989.03.17
申请号 JP19870228745 申请日期 1987.09.11
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 OONITA TEI;TAKIGAWA TOSHIKAZU;UEDA YOICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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