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发明名称 ION BEAM PARALLEL SCANNING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPS6471047(A) 申请公布日期 1989.03.16
申请号 JP19870227234 申请日期 1987.09.10
申请人 ULVAC CORP 发明人 TSUBOI HIDEO
分类号 H01J37/317;H01J37/147 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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