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发明名称
ROBOT FOR CLEAN ROOM
摘要
申请公布号
JPS6471689(A)
申请公布日期
1989.03.16
申请号
JP19870227445
申请日期
1987.09.10
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
KATO HISAO
分类号
B25J19/00
主分类号
B25J19/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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