发明名称 TESTING APPARATUS OF LSI
摘要
申请公布号 JPS6469973(A) 申请公布日期 1989.03.15
申请号 JP19870226581 申请日期 1987.09.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMAGUCHI KAZUO
分类号 G01R31/317;G01R31/28;G01R31/3183;G06F1/04 主分类号 G01R31/317
代理机构 代理人
主权项
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