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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION INCLUDING A NON-DESTRUCTIVE METHOD FOR EXAMINING LITHOGRAPHICALLY DEFINED FEATURES
摘要
申请公布号 EP0276938(A3) 申请公布日期 1989.03.15
申请号 EP19880300386 申请日期 1988.01.19
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 CUTHBERT, JOHN DAVID;SCHROPE, DENNIS EARL;YANG, TUNGSHENG
分类号 G01N21/88;G01N21/956;G03F1/08;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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