| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR CALIBRATING ARTWORK FROM A DIRECT IMAGING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB8901874(D0) |
申请公布日期 |
1989.03.15 |
| 申请号 |
GB19890001874 |
申请日期 |
1989.01.27 |
| 申请人 |
GERBER SCIENTIFIC INSTRUMENT COMPANY, THE |
发明人 |
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| 分类号 |
G03F9/00;G01B11/02;G01B11/03;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G01B11/00 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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