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发明名称 FILM THICKNESS-MEASURING APPARATUS USING LINEARLY POLARIZED LIGHT
摘要
申请公布号 EP0249235(A3) 申请公布日期 1989.03.15
申请号 EP19870108476 申请日期 1987.06.12
申请人 NIPPON KOKAN KABUSHIKI KAISHA 发明人 SANO, KAZUO C/O PATENT & LICENSE;MIYAZAKI, TAKAO C/O PATENT & LICENSE;YAMADA, YOSHIRO C/O PATENT & LICENSE
分类号 G01B11/06;G01N21/21;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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