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发明名称
METHOD FOR DETERMINING SHEARING AMOUNT OF SHEARING INTERFEROMETER
摘要
申请公布号
JPS6469933(A)
申请公布日期
1989.03.15
申请号
JP19870227732
申请日期
1987.09.11
申请人
CANON INC
发明人
KURODA AKIRA;MATSUGI MASAKAZU;YOSHII MINORU
分类号
G01B11/24;G01M11/02
主分类号
G01B11/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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