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Organometallhaltige Styrolderivate der Formel I <IMAGE> worin zum Beispiel M Si, X, O, R¹ und R² Wasserstoff, R<4> bis R<6> je Methyl, a Null und R<7> Wasserstoff oder Methyl bedeuten, und organometallhaltige Verbindungen der Formel VII <IMAGE> worin M und R¹ bis R<6> z.B. die oben angegebene Bedeutung haben und Y beispielsweise 4-Nitrophenoxy ist, sind wertvolle Ausgangsstoffe für die Herstellung von organometallhaltigen Polymeren. Die Polymeren eignen sich zur Herstellung von trockenentwickelbaren Photoresists, wie sie bei der Erzeugung von strukturierten Bildern, insbesondere in der Mikroelektronik, benötigt werden.
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