发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6468945(A) 申请公布日期 1989.03.15
申请号 JP19870227402 申请日期 1987.09.09
申请人 NEC CORP 发明人 FURUICHI MITSUHIRO
分类号 H01L21/302;H01L21/28;H01L21/3065;H01L21/3213 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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