| 发明名称 |
APPARATUS FOR PRINTING AND EXPOSURE OF SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6468927(A) |
申请公布日期 |
1989.03.15 |
| 申请号 |
JP19870227126 |
申请日期 |
1987.09.09 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
TSURUOKA YUJI;TORIGOE MAKOTO;FUKUDA HITOSHI;IIZUKA KAZUO |
| 分类号 |
H01L21/30;G03F7/20;H01L21/027;H01S3/101 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
