发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6467975(A) 申请公布日期 1989.03.14
申请号 JP19870224931 申请日期 1987.09.08
申请人 NIPPON DENSO CO LTD 发明人 MIZUKOSHI MASATO;KAWASAKI EIJI;FUKAZAWA TAKESHI
分类号 H01L21/265;G01L9/00;G01L9/04;H01L29/84 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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