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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6467969(A) 申请公布日期 1989.03.14
申请号 JP19870225049 申请日期 1987.09.08
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MORITA ISAO
分类号 H01L29/78;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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