| 发明名称 |
FORMATION OF OXIDE SUPERCONDUCTING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6467823(A) |
申请公布日期 |
1989.03.14 |
| 申请号 |
JP19870223673 |
申请日期 |
1987.09.07 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI |
| 分类号 |
H01L39/12;C01B13/14;C01G1/00;C04B41/87;C30B25/16;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
H01L39/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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