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发明名称
WIRING OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPS6467952(A)
申请公布日期
1989.03.14
申请号
JP19870224111
申请日期
1987.09.09
申请人
NEC CORP
发明人
TANAHASHI TOSHIO
分类号
H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/82;H01L23/538;H01L39/00
主分类号
H01L23/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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