发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6467921(A) 申请公布日期 1989.03.14
申请号 JP19870224851 申请日期 1987.09.08
申请人 SEIKO INSTR & ELECTRON LTD 发明人 KUDO NOBORU
分类号 H01L29/78;H01L21/31;H01L21/316 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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