发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6465856(A) 申请公布日期 1989.03.13
申请号 JP19870221226 申请日期 1987.09.05
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 CHITO TOSHIHIKO
分类号 H01L23/52;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
地址