发明名称 APPARATUS FOR TESTING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6466577(A) 申请公布日期 1989.03.13
申请号 JP19870223540 申请日期 1987.09.07
申请人 NEC YAMAGUCHI LTD 发明人 HONMA MICHIO
分类号 G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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