| 发明名称 |
MICROWAVE PLASMA REACTION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6465279(A) |
申请公布日期 |
1989.03.10 |
| 申请号 |
JP19870221486 |
申请日期 |
1987.09.04 |
| 申请人 |
SEIKO INSTR & ELECTRON LTD |
发明人 |
ITO HIRONOBU |
| 分类号 |
C23C16/50;B01J19/08;C23C16/27;C23C16/511;C23F4/00;C30B29/04 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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