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发明名称
FORMATION OF MULTILAYERED INTERCONNECTION
摘要
申请公布号
JPS6464247(A)
申请公布日期
1989.03.10
申请号
JP19870221702
申请日期
1987.09.02
申请人
FUJITSU LTD
发明人
KATO TAKASHI;ITO TAKASHI
分类号
H01L21/56;H01L23/52;H01L23/538;H05K3/46
主分类号
H01L21/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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