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经营范围
发明名称
HOLLOW CATHODE GUN FOR ION PLATING
摘要
申请公布号
JPS6465260(A)
申请公布日期
1989.03.10
申请号
JP19870315189
申请日期
1987.12.15
申请人
KAWASAKI STEEL CORP;ULVAC CORP
发明人
IGUCHI MASAO
分类号
C23C14/32;H01J37/08
主分类号
C23C14/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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